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产品说明：
采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
特点：
● 采用了独特的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
● 采用压电陶瓷作为驱动机构，开环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。
● 位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。
● 使用FINE系列控制器，可实现高速定位。
● 重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。若使用FINE-01γ的模拟信号驱动时，可达25Hz。
技术参数：
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型号 |
 SFS-H40X(CL)
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 SFS-H40Z(CL)
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 SFS-H60X(CL)
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SFS-H60XY(CL) |
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行程 |
90μm±15％ |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
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台面尺寸〔mm〕 |
40×40 |
40×40 |
60×60 |
60×60 |
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驱动机构 |
压电陶瓷 |
压电陶瓷 |
压电陶瓷 |
压电陶瓷 |
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自重〔kg〕 |
0.28 |
0.28 |
0.4 |
0.43 |
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理论分辨率（开环时）〔nm〕 |
1 |
1 |
1 |
1 |
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分辨率（闭环时）〔nm〕 |
10 |
10 |
10 |
10 |
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直线性〔％〕 |
0.3以下 |
0.3以下 |
0.3以下 |
0.3以下 |
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垂直度（水平方向）〔μm〕 |
1 |
1 |
1 |
1 |
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重复定位精度〔μm〕 |
0.1以下 |
0.1以下 |
0.1以下 |
0.1以下 |
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承载能力〔N〕 |
9.8（1.0kgf） |
6.7（0.7kgf） |
19.6（2.0kgf） |
14.7（1.5kgf） |
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微小位移传感器 |
数字位移传感器 |
数字位移传感器 |
数字位移传感器 |
数字位移传感器 |
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适用电缆 |
电缆（2m）附属 |
电缆（2m）附属 |
FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用 |
FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用 |
SFS-H60XYZ(CL) 和SFS-H60Z(CL)精密压电陶瓷平台技术参数：
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行程 |
100μm±15％ |
100μm±15％ |
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台面尺寸 |
60×60mm |
60×60mm |
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驱动机构 |
压电陶瓷 |
压电陶瓷 |
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自重 |
0.63kg |
0.33kg |
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理论分辨率（开环时） |
1nm |
1nm |
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分辨率（闭环时） |
10nm |
10nm |
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直线性误差 |
＜0.5％ |
＜0.3％ |
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垂直度（水平方向） |
1μm |
1μm |
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重复定位精度 |
＜0.15μm |
＜0.1μm |
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承载能力 |
9.8N（1.0kgf） |
9.8N（1.0kgf） |
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微小位移传感器 |
数字位移传感器 |
数字位移传感器 |
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适用电缆 |
FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用 |
FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用 | |
